本发明属于电子功能陶瓷材料技术领域,涉及氧化铍陶瓷材料的制备方法。本发明采用BeO原料和助烧剂分别分散并研磨的方式控制原料粒径,然后采用湿磨方式将二者均匀混合,经烘干,造粒并成型后采用本发明独特的三段式烧结方式烧结:首先在1000℃到1400℃之间保温0.5~4小时,然后以3℃~8℃/min的升温速度升温到1620℃到1680℃之间,最后快速降温至1520℃到1580℃之间并保温2~6小时。本发明所制备的BeO陶瓷晶粒大小可控,一致性和重复性好;采用独特的三段式烧结方式,使得最终BeO陶瓷结构均匀致密,从而提高了最终BeO陶瓷材料的热导率和抗折强度。本发明制备的BeO陶瓷材料作为高导热主体关键材料,可用于微波,毫米波,大功率,高组装密度的电子元器件或组件中起承载导热功能。